擴(kuò)散硅壓力變送器與電容式壓力變送器結(jié)構(gòu)對(duì)比圖

 壓力變送器是直接被測(cè)介質(zhì)相接觸的現(xiàn)場(chǎng)儀表.常常在高沮、低沮,、腐蝕、振動(dòng),、沖擊等環(huán)境中工作,。    只需我們能在一同,，我們什么都能找到。也許缺乏勇氣是抵達(dá)美妙境界的妨礙,。你看我是何等合適你的人,。我的勇氣和你的勇氣加起來，抵擋這個(gè)世界總夠了吧?要無優(yōu)無慮地去抒情,，去歌舞狂歡,，去向世界宣布我們的聲響，我一小我是不敢的,，我怕人家說我瘋,。有了你我就敢。 變送器卓越的可稱性已經(jīng)成為影響壓力變送器需求持續(xù)增長的旅要因素之一,。
   壓力變送器的發(fā)展大體經(jīng)歷了四個(gè)階段:
    (1)早期壓力變送器采用大位移式工作原理,，如水銀浮子式差壓計(jì)及膜盒式差壓變送器，這些變送器梢度低且笨重,。
    (2) 20世紀(jì)50年代有了精度稍高的力平衡式差壓變送器,，但反該力小，結(jié)構(gòu)復(fù)雜,，可靠性,、穩(wěn)定性和抗震性均較差。

這種不正常的心境,，感覺異常孤單,。生涯也許在沸騰著.翻著泡沫，但我卻突然感覺我完全在它之外.我真戀慕那些高枕無憂的,、從一直歇地干下去的人,。這個(gè)時(shí)分.誰也不克不及撫慰我，也許連你也不克不及,。就像那首詩說的.像在霧中一樣,。我能夠有一個(gè)致命的缺陷.生命力還不敷強(qiáng)。

    (3) 20世紀(jì)70年代中期,，隨著新工藝,、新材料、新技術(shù)的出現(xiàn),，尤其是電子技術(shù)的迅猛發(fā)展,，出現(xiàn)體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單的位移式變送器,。
    (4) 20世紀(jì)90年代科學(xué)技術(shù)迅猛發(fā)展,，變送器測(cè)量精度提高而且逐漸向智能化發(fā)展,，數(shù)字信號(hào)傳輸更有利于數(shù)據(jù)采集，出現(xiàn)了擴(kuò)散硅壓阻式變送器,、電容式變送器,、差動(dòng)電感式變送器和陶瓷電容式變送器等新型變送器。
    (1)擴(kuò)散硅壓力變送器
    20世紀(jì)90年代中期,，美國Icscnsor,，公司, Nova公司應(yīng)用硅品石和硅品片益合兩項(xiàng)尖端科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高、重復(fù)性小,、抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器,，工作原理圖如下

    過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上,，同時(shí)參考端的壓力(大氣壓)作用于膜片的另一端,。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個(gè)壓力場(chǎng)，使膜片的一部分壓縮,。另一部分拉伸,，在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個(gè)應(yīng)變電阻片，以感受壓力引起的阻值的變化,，從而將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào).擴(kuò)散硅在低溫零度以下、高溫85℃以上難以正常使用,，也不適用于20 M Pa以上的高壓,。

2)電容薄膜式壓力變送器
電容薄膜式絕對(duì)壓力變送器自20世紀(jì)80年代誕生至今己有20多年歷史，由于它精度高,，耐腐蝕,，耐污染，穩(wěn)定性好,，是岡內(nèi)外公認(rèn)的檢淵低真空壓力的理想儀表,。美國的M. K. S公司是全球生產(chǎn)電容式壓力變送器的主要生產(chǎn)廠家，涉及民用工業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域,，并在航天工業(yè),、核工業(yè)等軍事工業(yè)中發(fā)揮著獨(dú)特的作用。這種壓力變送器是利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生壓變引起電容變換的原理制成的,，它由檢測(cè)部分和轉(zhuǎn)換電路組成,，如圖7一34所示.檢測(cè)部分有真空腔和檢測(cè)腔兩個(gè)腔體。真空腔為全密封結(jié)構(gòu),，經(jīng)質(zhì)譜檢漏儀檢漏合格后,，通過長時(shí)間排氣，最后將排氣管密封而形成,，井備有消氣劑以消除殘余氣體,，長期保持高真空.固定極板位于真空腔中,，由極板引出線引至腔外.檢測(cè)膜片置于高真空的真空腔及連接低真空待測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)腔之間，檢測(cè)膜片為可動(dòng)極板,，其與固定極板形成一個(gè)平板電容器,，有一定的電容(J.。被測(cè)的低真空壓力通過檢測(cè)孔進(jìn)人檢測(cè)腔,，檢測(cè)膜片產(chǎn)生撓曲,，改變了其與固定極板的距離，電容值也隨之改變,。不同的低真空壓力值決定不同的電容值,。最后電容信號(hào)被輸送到電路轉(zhuǎn)換部分，電路轉(zhuǎn)換部分將電容信號(hào)通過變換,、整理,、放大等環(huán)節(jié)，輸出一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)電壓或電流信號(hào),，它與真空壓力成正比,。該類型壓力變送器為高靈敏度差壓測(cè)量，零點(diǎn)穩(wěn)定,。動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性好,，適應(yīng)性強(qiáng)，一般適用于靜壓力的測(cè)最.

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